雖然波長色散型（WD-XRF）X射線熒光光譜儀與能量色散型（ED-XRF）X射線熒光光譜儀同屬X射線熒光分析儀，它們產生信號的方法相同，得到的波譜或者能譜也極為相似，但由于采集數據的方式不同，ED-XRF與WD-XRF在原理和儀器結構上有所不同，功能也有區(qū)別。

原理區(qū)別

X-射線熒光光譜法，是用X-射線管發(fā)出的初級線束輻照樣品，激發(fā)各化學元素發(fā)出二次譜線（X-熒光）。波長色散型熒光光儀（WD-XRF）是分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的含量。而能量色散型X射線熒光光儀（ED-XRF）是借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量分離X-射線光譜線，根據各元素能量的高低來測定各元素的量。由于原理不同，故儀器結構也不同。

結構區(qū)別

波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管）、樣品室、分光晶體和檢測系統(tǒng)等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，要求作為光源的X-射線管的功率要大，一般為２～３千瓦。但X-射線管的效率極低，只有１％的電功率轉化為X-射線輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產生高溫，所以X-射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價格往往比能譜儀高。能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF），一般由光源（X-射線管）、樣品室和檢測系統(tǒng)等組成，與波長色散型熒光光譜儀的區(qū)別在于它用不分光晶體。

能量色散X射線熒光光譜儀優(yōu)勢

①儀器結構簡單，省略了晶體的精密運動裝置，也無需精度調整。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X-射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。

②能量色散型熒光光儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X-射線的利用率很高，不需要光學聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。

③在能量色散譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X-射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜（包括背景）的基礎，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導體檢測器X-射線光譜儀能比晶體X-射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

④能量色散法的一個附帶優(yōu)點是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學狀態(tài)引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數的統(tǒng)計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，見笑了偶然錯誤判斷某元素的可能性。